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HEIDENHAIN海德汉光栅尺测量精度

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HEIDENHAIN海德汉光栅尺测量精度

HEIDENHAIN海德汉特殊的生产设施和测量设备造就了海德汉的高质量产品。光刻的主要和次主要生产过程都是在洁净室里完成的,在洁净室里配备了特殊的温度稳定和防振动隔离装置。仿形机和其它生产直线和角度刻线用的机械设备都是由海德汉自己研发和制造的。

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HEIDENHAIN海德汉光栅尺测量精度

HEIDENHAIN海德汉特殊的生产设施和测量设备造就了海德汉的高质量产品。光刻的主要和次主要生产过程都是在洁净室里完成的,在洁净室里配备了特殊的温度稳定和防振动隔离装置。仿形机和其它生产直线和角度刻线用的机械设备都是由海德汉自己研发和制造的。

HEIDENHAIN海德汉封闭式光栅尺能有效防尘、防切屑和防飞溅的切削液,是用于机床的理想选择。

敞开式光栅尺与读数头和光栅尺或钢带间没有机械接触。这些光栅尺的典型应用包括:测量机、比较仪和其它长度计量精密设备以及生产和测量设备,例如用在半导体工业中。

增量式光栅尺决定当前位置的方式是由原点开始数测量步距或细分电路的计数信号数量。海德汉的增量式光栅尺带有参考点,开机时必须执行参考点回零,操作非常简单、快捷。

式光栅尺无需执行参考点回零操作就能直接提供当前位置值。光栅尺的位置值通过EnDat接口或其它串行接口传输。

敞开式直线光栅尺

敞开式直线光栅尺设计用于对测量精度要求*的机床和系统。

典型应用包括:

  • 半导体业的测量和生产设备

  • PCB电路板组装机

  • 超高精度机床

  • 高精度机床

  • 测量机和比较仪,测量显微镜和其它精密测量设备

  • 直驱电机

HEIDENHAIN海德汉光栅尺规格

 

 

LC 195 S

 

 

LC 195 S

 

 

LC 195 F

 

 

LC 195 M

测量标准

线膨胀系数

带轨道和增量轨道的Diadur玻璃秤,光栅周期20微米

αtherm?8 x 10–6 k–1

精度等级*

测量长度为±3微米至3040毫米;±5微米

测量长度ml*in mm

140 240 340 440 540 640 740 840 940 1040 1140 1240 1340 1440 1540 1640 1740 1840 2040 2240 2440 2640 2840 3040 3240 3440 3640 3840 4040 4240

功能安全

适用于以下应用程序

  • •符合EN 61 508的SIL-2
    •3类,pl“d",根据
    EN ISO 13 849-1:2008标准

PFH

25 x 10–9; ML > 3040 mm: 40 x 10–9

(海拔高达1000米)

安全位置1)

编码器:±550μm;ml>3040 m m:±2050μm

(安全相关测量步骤sm=220μm)


机械连接:外壳和扫描装置松动故障排除(第21页)

界面

DRIVE-CLiQ

Fanuc串行接口/αi接口

三菱高速接口

订购名称

DQ01

Fanuc05

Mit03-04

测量步骤

At ±3 µm

At ±5 µm

 

0.001 µm

0.010 µm

αI接口/α接口

0.00125 µm/0.010 µm

0.0125 µm/0.050 µm

 

0.001 µm

0.010 µm

时钟频率(计算时间TCAL)

电气连接

分离可在两侧连接到安装块的适配器电缆(1 m/3 m/6 m/9 m)

电缆长度

≤ 30 m2)

≤ 50 m

≤ 30 m

电压供应

DC 10 V to 28.8 V

DC 3.6 V to 14 V

功耗(大)

10 V: ≤ 1.5 W; 28.8 V: ≤ 1.7 W

3.6 V: ≤ 1.1 W; 14 V: ≤ 1.3 W

横移速度

≤ 180 m/min (max. acceleration ≤ 100 m/s2)

所需移动力

≤ 4 N

振动55赫兹至2000赫兹
影响

冲击11毫秒

外壳:≤200 m/s2(EN 60 068-2-6)

扫描单元:≤200 m/s2(EN 60 068-2-6)

≤300 m/s2(EN 60 068-2-27)

工作温度

0 °C to 50 °C

保护EN 60 5293)

当根据手册说明安装时,防护等级为IP53,防护等级为IP64,密封空气来自DA 400。

质量

0.55 kg+2.9 kg/m测量长度

*订购时请选择

1)位置值比较后,后续电子设备中可能会出现进一步的公差(联系后续电子设备的制造商)

2)根据要求延长电缆长度

3)在应用中,LC必须防止颗粒和液体侵入。

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